硅片甩干機不會產生二次污染,是專門用來清洗硅片的設備
2022-09-09
在半導體工藝中把做好的芯片從大源片上分離開來,需要一步叫劃片的工藝。劃片工藝是使用金剛砂輪把硅片切開,在切割的過程中能產生大量的硅片和金屬等的碎渣,這些碎渣會對芯片造成沾污,這就需要在劃片工藝中形成的礦渣進行清除,方法是對硅片進行清洗。傳統的清洗方法是用高壓水槍噴水清洗,或者用棉絨等蘸水擦洗,然后用氮氣吹干。這些方法容易造成對做好的芯片表面的劃傷或者二次污染,清洗效果不佳。所以需要有一種專門清洗這種硅片的設備,既能清洗干凈,又不會產生二次污染。硅片甩干機具有位于機箱內的甩干機...